工信部公示第二批重点培育中试平台名单 中船派瑞电子特种气体中试平台入选

近日，工信部公示第二批重点培育中试平台名单，由中船集团七一八所旗下中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司建设运营的“中船派瑞集成电路用电子特种气体及材料研发中试平台”成功入选。该平台聚焦集成电路用电子特气及材料研发，覆盖五大主流制备专业，具备危化品合规中试和电子级纯度精密质控双重资质，着力补齐行业“实验室小试到产业化量产”的中间断层。电子特气多为自燃、有毒、强腐蚀气体，对防爆、安全仪表系统、尾气处理、泄漏检测和“三废”处置要求极高，普通中试装置难以满足电子级标准。未来，平台将持续完善试验基础条件，丰富产品谱系，推进中试工艺流程自动化，深化参与国家中试标准体系建设。（中国化工报）