中国极紫外光源样机国产化率达90% 距量产尚需3—5年

第二十六届中国国际工业博览会期间，朗道燧岩展出一台极紫外光源系统样机，该设备为目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机，被称作高端光刻机的“心脏”。现场工作人员介绍，本次展出的光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。尽管目前距离量产还需3—5年，但这一突破已迈出了国产EUV光源从实验室走向产业化的关键一步。（产联社）