清华大学具身智能项目-黄光制程设备公开招标，预算92.66万元

清华大学就具身智能项目-黄光制程设备开展公开招标，预算金额为92.66万元。本次招标共分三个采购包：01包为紫外光刻机，预算45万元，数量1套；02包包括大尺寸匀胶机（11.2万元，2套）、高精度烤胶机（11.6万元，2套）和自动显影台（18万元，1套）；03包为等离子清洗机，预算6.86万元，数量1套。投标人可对一个或多个采购包进行投标，但须针对每个采购包的全部内容完整投标，不允许拆分。投标文件提交截止时间为2026年10月10日13时30分，开标地点为北京市海淀区华业大厦一层二区采购管理中心第三会议室。合同履行期限为签订后120日内交付。（中国政府采购网）