阿斯麦与台积电拟推动高NA EUV光罩向12英寸升级

7x24h 快讯·2026-09-08 14:12阅读量：3,514

9月8日，阿斯麦与台积电宣布成立行业合作计划，推动高数值孔径极紫外光刻光罩从6英寸向12英寸升级。双方计划于2031年建立12英寸光罩试产线，并推动12英寸高NA EUV光刻系统于2033年进入先进制程量产。台积电预计自2030年起在先进制程大规模生产中采用ASML高NA技术。（产联社）

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